Rigaku покажет на SEMICON West рентгеновские средства измерения для полупроводникового производства

На выставке 13–15 октября в Сан-Франциско компания представит системы рентгеновской топографии XRTmicron и платформы XTRAIA для измерения тонких плёнок, структуры и критических размеров. Покажут также приборы рентгенофлуоресцентного анализа для поиска следовых загрязнений.

Группа Rigaku покажет свои средства измерения для полупроводникового производства на выставке SEMICON West 2026, которая пройдёт с 13 по 15 октября в центре Moscone в Сан-Франциско, Калифорния. Экспозиция охватит применения от анализа загрязнений поверхности и исследования кристаллов до измерения тонких плёнок, управления процессом и передового корпусирования.

В линейку компании входят рентгеновские методы неразрушающего контроля и измерений в ходе полупроводникового производства. Среди представленных изделий будут системы XRTmicron для рентгеновской топографии и выявления дислокаций, а также платформы XTRAIA для измерения тонких плёнок, структуры и критических размеров. Компания покажет и системы рентгенофлуоресцентного анализа с полным внешним отражением для определения следовых загрязнений поверхности, и приборы волнодисперсионного рентгенофлуоресцентного анализа для измерения толщины и состава плёнок.

По словам Rigaku, её технологический центр «Кремниевая долина» в Саннивейле, Калифорния, даёт американским заказчикам из полупроводниковой отрасли возможность увидеть измерения в работе и получить поддержку по применениям.

«SEMICON West — важная встреча для полупроводникового сообщества, и её возвращение в Сан-Франциско позволяет нам напрямую обсуждать с заказчиками производственные трудности, с которыми они сталкиваются, — сказал Ричард Броу, директор по продажам в полупроводниковом направлении. — Выстраивая наши рентгеновские средства измерения вокруг применений и производственных процессов, мы хотим помочь заказчику связать его технологические задачи с нужными измерительными решениями и выводами — и на этапе разработки, и в производстве».